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电子气

电子气:
    按组分的性质分类,大致分为三类,即单质类气体(O2、N2、Ar、H2、He)、化合物类气体(SiH4硅烷、PH3磷烷、AsH3砷化氢、CO福建一氧化碳、B2H6乙硼烷、Hcl氯化氢、NH3氨、CF4四氟福建甲烷、SiF4四氟硅烷等)、混合物类气体(SiH4+稀释气(Ar、N2)、PH3+稀释气(Ar、N2)、NH3+稀释气(Ar、N2)等)。
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